產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻 純凈。

6 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、靶： ?45mm

2、真空室： ?160mm×120mm

3、真空度：≤4×10-2mbar

4、靶位： 3 個

5、電流： 50mA

6、可設(shè)定最長時間： 900s

7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管

8、電壓： 1600V    DC

9、機(jī)械泵： 2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個

2

銅靶材

1 個

3

鋁靶材

1 個

4

進(jìn)氣針閥

1 個

5

保險絲

2 個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材